声表面波（SAW）器件是一种利用逆压电效应将输入电信号转换为声信号（或反之）的装置。声波沿SAW基片或晶圆表面传播，最终在基片的另一端被转换回电信号。SAW器件广泛应用于广播电视、移动与无线电话、卫星通信、GPS系统及识别系统（如电子标签）等领域，可用作滤波器、振荡器、相关器和延迟线等。特别是在移动通信行业，SAW器件是决定信息传输效率的关键组件。由于其在延迟线、滤波器以及其他UHF、VHF和微波器件中表现出的优异功能特性，SAW器件持续受到广泛关注。
SAW晶圆或基片是实现机械波与电信号之间能量转换的核心部件。由于声表面波的传播速度极低，在信号于两端之间传输的过程中，对其进行采样和变换是一种常规做法。
自1880年法国科学家居里兄弟（Curie brothers）发现石英和电气石等晶体的压电效应以来，相关研究相继开发出了多种新型压电晶体。然而，受多种因素制约，其中只有少数几种材料能够实现大规模工业化生产，主要包括石英、铌酸锂（LiNbO3）和钽酸锂（LiTaO3）。石英具有良好的温度稳定性，但其机电耦合系数相对较低；铌酸锂（LiNbO3）具有极高的机电耦合系数，但其负温度系数过大，往往不理想；钽酸锂（LiTaO3）在温度系数方面优于铌酸锂，但其机电耦合系数甚至不到铌酸锂的四分之一。
杭州Shalom EO在声表面波基片制造方面拥有丰富的经验，能够提供现货及定制规格的SAW晶圆。公司可提供直径最大达6英寸的LiNbO3、LiTaO3、石英及LGS SAW级晶体锭、晶圆毛坯及抛光SAW晶圆：
SAW级LiNbO3晶圆：
铌酸锂（LN）晶体属于三方晶系，具有畸变钙钛矿型结构。这种晶体展现出多种物理特性，包括压电、铁电、光电、非线性光学及热电效应等。根据晶体取向的不同，LN晶体的压电系数可达6至70 pC/N。其中，LiNbO3的有效压电系数d22约为α-石英（SiO2，其值为2–3 pC/N）的10倍。
此外，LiNbO3的竞争优势还体现在其极高的机电耦合系数上。数据显示，Z切型和Y/35°切型晶体的厚度伸缩（TE）模式机电耦合系数kt分别约为17%和49%；而X切型晶体在厚度剪切（TS）模式下的机电耦合系数可达68%，极具压电换能器应用潜力。
杭州Shalom EO公司提供SAW（声表面波）级铌酸锂（LiNbO3）晶体及晶圆。公司配备了先进的晶体生长、晶圆切割、研磨、抛光及检测设备；所有成品均通过居里温度测试及严格的质量控制（QC）检验。
LiNbO3 晶体规格：
3英寸/4英寸/5英寸/6英寸LN晶圆规格
SAW级LiTaO3晶圆：
钽酸锂（Lithium Tantalate）是一种化学式为LiTaO3的化合物，常简称为LT。它属于三方晶系，具有畸变的钙钛矿结构和C3v点群对称性。该晶体为单轴晶体，因此其单晶的光学性质表现出各向异性。可见光波段折射率的各向异性主要源于氧极化率的各向异性，且数值极小。这种微弱的各向异性与LiTaO3结构源自立方钙钛矿结构这一事实有关。在中频范围内，结构的各向异性导致了截然不同的晶格动力学性质和能带结构，使得平行于和垂直于铁电c轴的偏振光在折射率n和消光系数k的光谱特性上存在显著差异。研究人员已获得了2至35 eV光学波段的反射光谱。
钽酸锂晶体通常呈无色或浅黄绿色。作为一种性能卓越的多功能材料，钽酸锂（LiTaO3）应用广泛，涵盖了激光技术中的调Q开关、红外技术中的热释电探测器，以及电子工业中的滤波器和谐振器等领域。
钽酸锂非常适合用于声表面波（SAW）器件。抛光后的LT晶圆因其优异的机电耦合性能、温度系数及其他综合特性，被广泛用于制造谐振器、滤波器、换能器及其他电子通信器件。它不仅用于制造高频声表面波器件，还广泛应用于移动电话、对讲机、卫星通信及航空航天等高端通信领域。
除了在SAW领域的应用外，LiTaO3晶体还是热释电红外探测器的理想选择，这归功于其极高的化学稳定性（不溶于水）、超过600℃的高居里点、低介电损耗以及高探测率。此外，钽酸锂也是一种具有自发极化特性的铁电材料。杭州Shalom EO提供SAW（声表面波）级钽酸锂（LiTaO3）晶体及晶圆。公司配备了先进的设备，涵盖晶体生长、晶圆切割、研磨、抛光及检测等工艺环节；所有成品均通过居里温度测试及质量控制（QC）检验。我们可根据客户需求提供SAW级LiTaO3晶体、晶体毛坯、晶圆毛坯及抛光晶圆。
3英寸/4英寸 LT 晶圆规格
石英（SiO2）晶体与晶圆
石英晶体（化学成分为 SiO2）属于三方晶系，根据手性不同，其空间群为 P3121 或 P3221。其理想晶体形态为六方柱体，两端各由六方锥体封顶。在自然界中，石英晶体常因发生畸变、与其他石英或矿物共生、或形成双晶（如左旋与右旋石英晶体构成的双晶）而无法呈现完美的棱柱形状，甚至完全缺乏明显的晶面，呈块状产出。
石英单晶不具备热释电效应或铁电性。其熔点为 1750℃，密度为 2.65×10³ kg/m³，莫氏硬度为 7。石英晶体的主要性能特点包括：压电系数和介电系数具有良好的温度稳定性（在室温附近几乎保持不变）；机械强度与品质因数高，刚性强，动态特性优良；无热释电性，绝缘性能好，且具有良好的重复性。在常温范围内，其压电系数随温度的变化极小；例如在 20℃ 至 200℃ 之间，温度每升高 1℃，压电系数 d11 仅下降 0.016%。
石英晶体是单晶材料中最具代表性且应用最广泛的压电晶体。压电石英主要用于制造谐振器和滤波器，广泛应用于导航、遥控、遥测、电子技术以及各类电气设备中，服务于自动武器、超音速飞机、导弹、核武器、电子显微镜、计时仪器、电子计算机及人造地球卫星等领域。
杭州 Shalom EO 提供 SAW（声表面波）级石英材料及晶圆。公司配备了先进的设备，涵盖晶体生长、晶圆切割、研磨、抛光及检测等工艺环节；所有成品均通过居里温度测试及严格的质量控制（QC）检验。我们可根据客户需求提供石英晶体锭、晶体毛坯、晶圆毛坯及抛光晶圆。
Tags: 什么是 SAW 晶圆与晶体？